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Título : Diseño y construcción de un magnetrón para pulverizácion catódica para el Laboratorio de Materiales de Ingeniería Mecánica de la Facultad de Ingeniería Civil y Mecánica de la Universidad Técnica de Ambato
Autor : López Villacís, Gonzalo Eduardo
Núñez Chadán, Eduardo Mauricio
Palabras clave : DISEÑO Y CONSTRUCCIÓN
PULVERIZACIÓN CATÓDICA
MAGNETRÓN
SPUTTERING DC
CAMPO MAGNÉTICO
TRANSFERENCIA DE CALOR
SISTEMA DE VACÍO
PLASMA
Fecha de publicación : 2020
Editorial : Universidad Técnica de Ambato. Facultad de Ingeniería Civil y Mecánica, Carrera de Ingeniería Mecánica
Resumen : Due to a great research for the development of technology that allows us to study and analyze coatings on surfaces, their processes and techniques with which the properties of the surfaces of the materials are modified, this technical project is carried out which aims, the design and construction of a magnetron for a sputtering equipment, whose function is to provide coating to metal surfaces, using the technique of sputtering of direct current and magnetron (Magnetron sputtering DC). In the theoretical and analytical, the versatile design stands out, with a changeable blank, a large vacuum chamber, where the samples can be manipulated and a removable magnetron, built with accessible material with properties that support the corrosion to which it will ever be , The selection of permanent magnets of high power (Neodymium Magnets), a vacuum pump was made, the quality is important for the formation of plasma and the obtaining of coatings, in addition to having a liquid cooling system, which allows maintain a stable temperature, avoiding overheating and prolonging the time of use, a voltage variator and a transformer that allows to raise the x10 voltage with a rectifier bridge that converts alternating current (AC) into direct current (DC). This team allowed the obtaining of metallic coatings for the development of future research carried out by students and teachers in the materials laboratory of the Faculty of Civil and Mechanical Engineering of the Technical University of Ambato.
Descripción : Debido a una gran inquietud por desarrollar tecnología que nos permita el estudio y análisis de recubrimientos en superficies, sus procesos y técnicas con las cuales se modifican las propiedades de las superficies de los materiales, se realiza este proyecto técnico el cual tiene como objetivo, el diseño y construcción de un magnetrón para un equipo sputtering, cuya función es dotar de recubrimiento a superficies metálicas, empleando la técnica de pulverización catódica de corriente continua y magnetrón (Magnetrón sputtering DC). En lo teórico y analítico se destaca el diseño versátil, con un blanco cambiable, una cámara de vacío amplia, donde se puede manipular las muestras y un magnetrón desmontable, construido con material accesible de propiedades que soporten la corrosión a la cual va estar sometido, se realizó la selección de imanes permanentes de alto poder (Imanes de Neodimio), una bomba de vacío, la cual es importante para la formación de plasma y la obtención de recubrimientos, además de contar con un sistema de refrigeración líquida, la cual permite mantener una temperatura estable, evitando el sobrecalentamiento y prolongando el tiempo de uso, un variador de voltaje y un transformador que permite elevar el voltaje x10 con un puente rectificador que convierte la corriente alterna (AC) en Corriente directa (DC). Este equipo permitirá la obtención de recubrimientos metálicos para el desarrollo de investigaciones futuras que las realicen estudiantes y docentes en el laboratorio de materiales de la Facultad de ingeniería Civil y Mecánica de la Universidad Técnica de Ambato.
URI : https://repositorio.uta.edu.ec/jspui/handle/123456789/30688
Aparece en las colecciones: Ingeniería Mecánica

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